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Shenyang kejing Automation Equipment Co., Ltd

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Ellipsomètre Spectral se - VM

NégociableMise à jour sur02/18

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Vue d'ensemble

Le se - VM est un ellipsomètre Spectral de mesure rapide de haute précision. L'analyse de caractérisation des films minces et des nanostructures de paramètres optiques peut être rapidement réalisée par la mesure de paramètres ellipsométriques, de transmission / réflectivité et d'autres paramètres, adaptés à la caractérisation rapide des matériaux en couches minces. Prise en charge de configurations flexibles de haute compatibilité telles que les angles multiples, les micro - taches, le système de nivellement visuel, la conception personnalisée de modules multifonctions. $R $N $R $N solution d'Ellipsométrie de haute précision; Mesure ultra - précise et rapide sans perte; Support multi - angle, microspot, module de fonction du système de nivellement visuel personnalisation flexible; Riche bibliothèque de bases de données et de modèles géométriques garantissant de puissantes capacités d'analyse de données

Détails du produit

Modèle du produit	Ellipsomètre Spectral se - VM
Caractéristiques principales	1, utilisant la source lumineuse Composite importée de haute performance, la couverture spectrale peut voir la gamme proche infrarouge (380 - 1000nm) 2, modulation de compensateur rotatif de haute précision, configuration pcrsa pour réaliser l'acquisition à grande vitesse de données spectrales PSI / Delta 3, la configuration flexible de la série de soutien, peut soutenir la personnalisation modulaire multifonctionnelle selon différents scénarios d'application Des centaines de bases de données de matériaux, une variété de bibliothèques de modèles algorithmiques, couvrant la grande majorité des matériaux optoélectroniques actuels
Paramètres techniques	1, degré d'automatisation: changement d'angle manuel 2, positionnement d'application: type universel 3, fonction de base: PSI / Delta, N / C / s, R / T et autres spectres 4, spectre d'analyse 380 - 1000nm (peut être étendu à 210 - 1650nm) 5, temps de mesure unique: 0.5-5s 6, précision de mesure de répétabilité: 0.01nm 7, taille du spot: grande tache lumineuse 2 - 3mm, petite tache lumineuse 200μm 8, mode de réglage de l'angle d'incidence: changement d'angle manuel 9, gamme d'angle d'incidence: 55 - 75° (pas de 5°), 90° 10, méthode de recherche de mise au point: recherche manuelle de mise au point Itinéraire Mapping: non pris en charge 12, taille d'échantillon de soutien: grande à 180mm
Accessoires optionnels	1	Console de température
	2	Module d'extension mapping
	3	pompe à vide
	4	Composants d'adsorption par transmission

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