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Moniteur d'épaisseur de membrane eq - tm106

NégociableMise à jour sur02/18

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Vue d'ensemble

Le moniteur d'épaisseur de membrane eq - tm106 est un moniteur en ligne de l'épaisseur de membrane utilisant le principe d'oscillation du cristal de quartz, combiné à la technologie de mesure de fréquence *. Il est principalement utilisé dans le processus de préparation de films minces pour MBE, l'évaporation thermique OLED, la Pulvérisation magnétron et d'autres équipements pour la surveillance en temps réel de l'épaisseur de la couche de film et de la vitesse de revêtement.

Détails du produit

Moniteur d'épaisseur de membrane eq - tm106Est utilisant le principe d'oscillation du cristal de quartz, combiné avec* techniques de mesure de fréquence，La surveillance en ligne de l'épaisseur du film est effectuée. principalDevraitpourMBEEt,OLEDDispositifs tels que l'évaporation thermique, la Pulvérisation magnétronDePendant la préparation du film，pouràÉpaisseur du film et taux de revêtementEffectuer en temps réelSurveillance- Oui.Moniteur d'épaisseur de membrane eq - tm106selonPréparation du filmLe taux en temps réel peut sortirPWM(modulation de largeur d'impulsion)Quantité simulée,en tant queUtilisation du capteur d'épaisseur de membrane, en coopération avec le régulateur et l'alimentation d'évaporation pour réaliser le contrôle de vitesse en boucle fermée de la source d'évaporation, détectant ainsi l'épaisseur du film préparé- Oui.Moniteur d'épaisseur de membrane eq - tm106La petite taille peut économiser de l'espace dans le laboratoire, le principe est simple et facile à utiliser, particulièrement adapté à l'utilisation du processus de préparation de films minces dans le laboratoire.

produitnom	Moniteur d'épaisseur de membrane eq - tm106
Modèle du produit	EQ-TM106
Caractéristiques principales	1、livreMachinePeut être connecté à un ordinateur- Oui. 2,AfficheurAvecInterfaceSimplicitéIntuitif, raisonnable, facile et rapide à utiliser et d'autres avantages, peut afficher visuellement l'épaisseur du film mesurée, la vitesse, la fréquence,PWMContrôle de l'état de fonctionnement en pourcentage de la sortie, etc.- Oui. 3,Le logiciel ou l'afficheur peut régler le temps de fermeture, le mode de sortie, l'algorithme de taux, les paramètres matériels, la plage de sortie et les paramètres de communication, etc., et peut écrire les données pertinentes mesuréesExceldocument- Oui. 4,Il présente les avantages d'une taille ultra - petite, d'une précision de mesure élevée, d'une opération simple et d'une utilisation facile.
Paramètres techniques	Eq - tm106 - 1 composants de surveillance 1, alimentation: DC 5V(± 10%)，Courant élevé 400mA 2, résolution de fréquence:±0,03Hz 3, résolution d'épaisseur de film:00136（aluminium) et 4, précision d'épaisseur de film:± 0,5%, en fonction des conditions du processus, en particulier la position du capteur, la contrainte du matériau, la température et la densité 5, vitesse de mesure: 100ms -1s/fois，Réglable 6, plage de mesure: 500 000 Å (aluminium) et 7, cristal de capteur Standard: 6mhz 8, interface d'ordinateur: RS - 232 / 485Interface série（Baud Rate 1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38400 réglable，Bits de donnéesPour:8，Position d'arrêtPour:1，ContrôlePour:Rien) et 9, sortie analogique: 8Résolution de bits，Sortie de modulation de largeur d'impulsion PWM（Collecteur ouvert ou sortie interne 5V) et 10, environnement de travail: Température 0 - 50 ℃, humidité 5% - 85% RH, il ne doit pas y avoir de billes d'eau de condensation 11, dimension extérieure: 90mm×50mm×18 mm
	Eq - tm106 - 2 afficheur 1, alimentation d'entrée: AC 220V± 10% 2, alimentation de sortie: DC 5V 3A 3, affichage: 12×2 tubes numériquesetLED 4, port de communication: RS - 485 (Vitesse de Baud 1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38400 peutParamètres,Bits de donnéesPour:8 bits，Position d'arrêtPour:1 Position，ParitéPour:Rien) et 5, dimension extérieure: 182mm×65mm×160 mm
	Sonde eq - tm106 - 3 1, fréquence de disque applicable: 6mhz 2, taille de plaque applicable:Ø14 mm 3, bride d'installation: cf35 4, tuyau d'eau de refroidissement:Ø3 mm, longueur 300mm500mm et 1000mm 5, pression d'eau de refroidissement: < 0.3mpa 6, tuyau de route de déflecteur pneumatique:Ø3 mm 7, pression d'air comprimé: < 0,8 MPa,> 0,5 MPa 8, température de cuisson:État d'accès à l'eau< 200 ℃, bride d'état imperméable < 100 ℃ 9, interface électrique: BCNLa prise
Accessoires standard	1	Eq - tm106 - 1 composants de surveillance	1 pour
	2	Eq - tm106 - 2 afficheur	1 unité
	3	Sonde eq - tm106 - 3	1 pour

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