Nanofocus profileur de topographie 3D

Série nanofocus μsurfProfileur de topographie 3DL'utilisation de la technologie confocale poreuse, combinée à l'absorption d'images par CCD, remplace les trous du détecteur par un disque rotatif avec de nombreux trous, puis déplace l'objectif verticalement pour mesurer avec précision les données tridimensionnelles d'un objet en peu de temps (environ quelques secondes) d'une manière similaire à la tomographie. Son mode de mesure est sans contact, ne détruit pas la surface de l'échantillon, ne nécessite pas de mesure dans un environnement sous vide, peut également observer l'échantillon avec la fonction de mesure au microscope, il est dans un environnement de travail difficile, peut également être utilisé normalement. En raison de l'utilisation de la méthode de mise au point conjointe, lors de la mesure de la hauteur du gradient plus élevé, par rapport à d'autres méthodes, il est possible de mesurer la hauteur de l'objet avec plus de précision et d'établir une image stéréoscopique 3D, l'avantage est assez évident.

Série μsurfProfileur de topographie 3DApplication
La série μsurf est utilisée pour mesurer la topographie physique de surface, effectuer des analyses de topographie 3D à l'échelle micro - nanométrique, telles que la topographie de surface 3D, la topographie de profondeur 2D, les contours (profondeur, largeur, courbure, angle), la rugosité de surface, etc.
Composants de précision: détection de l'usure de la surface, de la rugosité de la surface, de la microstructure de la surface avec des composants requis, tels que le cylindre du moteur, la lame, etc.;
Sciences de la vie: mesure de l'épaisseur du placage sur stents, etc.
Systèmes mécaniques microélectroniques: détection de dispositifs miniatures, détection de structures tissulaires en génie pharmaceutique, telles que les puces génétiques, etc.
Semi - conducteurs: détection de systèmes électroniques miniatures, conception structurelle de produits d'emballage et auxiliaires
Énergie solaire: caractérisation topographique 3D de la ligne de grille de la plaque solaire, mesure du rapport hauteur / largeur, caractérisation topographique 3D après flocage (taille de la pyramide monocristalline, nombre, angle, topographie de la fosse de corrosion polycristalline, densité), analyse de rugosité, etc.
Papier: papier, mesure de topographie 3D de surface numismatique
LED: pour la mesure du substrat saphir, topographie 3D du Wafer après prélèvement PSS ICP

Série μsurfParamètres techniques
Source lumineuse led: λ = 505 nm, MTBF: 50 000 H
Temps de mesure: 2 ~ 10 secondes
Principe de mesure: sans contact, confocale
Direction X / y: plage de déplacement de la plate - forme: 100mmx100mm / 200mmx200mm / 300mmx300mm (taille sélectionnable), entraînement par moteur, résolution de direction X / y: 0,3 μm
Plage de mesure dans la direction Z: 350 μm, résolution dans la direction Z: < 1nm
Objectif: 10x, 20x, 50x, 100X (facultatif)
Caméra hors axe (10x), zui grand champ de vision 8 x 6 mm2 (en option)
Ordinateur: système de contrôle informatique haute performance, logiciel puissant et complet avec fonction d'épissure
Avec table professionnelle: dimensions 1550x800x750 mm (lxh)
Puissance de fonctionnement: 100 - 240V, 50 - 60HZ, input: 550 va
Matériel: acier, caoutchouc, marbre
Poids: environ 150kg + 80kg
Classe de salle blanche: Capability class 6 (Accord à DIN EN ISO 14644)