CNC Nikon Microscope 1pm haute résolution interférence lumineuse

Nikon instech Corporation (siège social: Tokyo), une Division de Nikon, présentera le système de microscopie à interférométrie optique "BW - M7000" avec une haute résolution atteignant 1 PM (Figure 1). Ce système permet de déterminer à grande vitesse et avec une grande précision les caractéristiques de surface (structure et rugosité de la surface du matériau, petites chutes sur la surface, etc.) dans une gamme de hauteurs allant du nanomètre au millimètre.

La détermination des caractéristiques de surface est réalisée selon la méthode développée par Nikon, la méthode fvwli (Focus variation with white light interferometry). Cette méthode permet à la surface du matériau de l'objet de générer des franges d'interférence qui déterminent avec une grande précision la position de mise au point de chaque pixel. L'évaluation des caractéristiques de surface avec une hauteur moyenne arithmétique tridimensionnelle (SA) de l'ordre de 0,1 nm peut être réalisée à tous les grossissements de 2,5 fois (champ de vision 4,4 x 4,4 mm) à 100 fois (champ de vision 111,0 X 110,0 µm). Capable de déterminer des surfaces ultra - lisses à rugueuses en un seul mode, sans avoir à remplacer des composants tels que des filtres optiques. De plus, l'interférométrie spectrale est utilisée pour déterminer l'épaisseur du film. L'épaisseur d'un film transparent de 1 nm à 40 µm peut être déterminée en moins de 0,1 seconde.

La détermination entièrement automatique peut être réalisée par des moyens de contrôle de programme, capables d'effectuer automatiquement des opérations telles que la mise au point, le réglage de l'inclinaison de l'échantillon, le jugement de la conformité. Il peut déterminer automatiquement plusieurs champs de vision, en plus de la première ligne de recherche et développement de matériaux, il peut être facilement utilisé pour la gestion de la qualité et sur le terrain.

Le microscope CNC Nikon BW - M7000 est équipé d'une table motorisée XY avec une course de 300 x 300 mm et d'une table motorisée Z avec une course de 200 mm. Semi - conducteurs déterminables, LED、 Matériaux de film mince, matériaux macromoléculaires, pièces usinées de précision et autres échantillons variés (Figure 2, figure 3). Lors de la détermination de la forme de la surface du foret *, les pinces disponibles conservent leur état fixe droit.