Instrument de mesure de profil de guidage

NégociableMise à jour sur04/02

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Vue d'ensemble

Le profilomètre de guidage est utilisé pour la mesure de profil des guides de coupe de plaquettes de silicium, avec une plage de mesure de 50 mm (CV - 1000) ou 100 mm () CV - 2000.

Détails du produit

Instrument de mesure de profil de guidageParamètres techniques:

XAxes	Gamme de mesure	50 mm(CV-1000) ou100 mm()CV-2000
	résolution	0,2 μm
	Méthode de mesure	Règle à grille réfléchissante
	Vitesse de conduite	0,2 mm/ s
	Mesurer la vitesse	0,02-5mm/s
	Direction de mesure	/Vers l'arrière
	Degré de ligne droite	3,5 μm / 50 mm 1,5 μm/mm(lorsqueXAxe dans la direction horizontale
	Précision indiquée (20℃) et	±(3,5 + 2L / 100) etdes μm LLongueur de conduite (mm) et
	Gamme d'inclinaison	± 45°(CV-2000) et
Z1Axes	Gamme de mesure	25 mm(CV-100) ou40 mm(CV-2000) et
	résolution	0,4 μm(CV-1000Série) 0,5 μm(CV-2000Série)
	Méthode de mesure	Encodeur arc
	Précision indiquée (20℃) et	±(3,5+14H/25) etdes μm) et HPour la hauteur mesurée en position horizontale (mm) et
	La sonde fonctionne de haut en bas	Mouvement d'arc
	Direction de la sonde	vers le bas
	Mesure de force	10 à 30mN
	Angle de suivi	Vers le Haut	77°
		vers le bas	87°
Pointe de sonde	Rayon	25 μm
	matériaux	Pointe d'aiguille en carbure
Taille de la base (H) et		750x600mm(CV-2000) et
Matériel de base		Granit (CV-2000) et
poids	Hôte	5 kg(CV-10000N2),115,8 kg(CV-2000M4),124kg(CV-2000S4) et
	Dispositif de contrôle	14 kg
	Boîte à télécommande	0,9 kg
alimentation		100-240VAC±10% 50/60Hz
Consommation d'énergie		150 watts* hôte

Instrument de mesure de profil de guidageParamètres de performance:

modèle	CV-1000N2	CV-2000N4	CV-2000S4
X1Gamme de mesure d'axe	50 mm	100 mm	100 mm
Z1Gamme de mesure d'axe	25 mm	40 mm	40 mm
Z2Gamme de mesure d'axe	-	250 mm	320mm

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