Instrument de contrôle d'épaisseur de membrane

IC / 5 polyvalentInstrument de contrôle d'épaisseur de membraneIdéal pour contrôler la vitesse de dépôt de couche de film et l'épaisseur de film dans les systèmes Multi - sources, multi - Creusets, multi - matériaux ou Multi - processus. L'IC / 5 peut répondre aux besoins des applications même complexes, exigeantes et spéciales. Il est spécialisé dans le contrôle des processus, les fonctions logiques, les programmes et la capacité de stockage des couches de membrane, la gestion des données de processus et, en particulier, le contrôle de la vitesse de dépôt par rapport à l'épaisseur du film.

Principaux paramètres de performance

◆ résolution de fréquence: 0,03 Hz à 6,0 MHz

◆ résolution de qualité: 0375 ng / cm²

◆ fréquence de plaque d'induction: 2,5, 3, 5, 6, 9,5, 10 MHz

◆ affichage de l'épaisseur du film: 0000 ~ 999,9 K & aring;

◆ taux de formation de film: 00,0 à 999 ANG / sec (0 à 9,99 μm / min)

◆ nombre de couches de film: 1 ~ 999

◆ affichage graphique: 256 × 64 LCD, éclairage de fond CCFL

◆ configuration complète

◆ unité principale mdc360c, oscillateur et câble ensemble, sonde un, tranche 5

◆ taille de l'hôte: 16,98 × 3,47 × 9355 (en pouces)

Largeur du panneau avant 18,98 pouces

Contrôle de processus complet

IC / 5 dispose d'une large gamme de fonctions, il peut démarrer le processus d'évacuation, contrôler la vanne, activer le chauffage de substrat, etc. Ces fonctionnalités améliorées éliminent la nécessité d'équiper le système d'instruments auxiliaires, ce qui réduit la complexité et le coût du système. La fonction logique et de contrôle de l'IC / 5 contient 100 états logiques programmables; Les circuits de relais E / s et TTL offrent jusqu'à 24 sorties relais, 28 entrées TTL, 14 sorties TTL, 20 compteurs et 20 Chronographes. Les états logiques peuvent être associés à des entrées ou des sorties externes. Chaque état peut contenir jusqu'à 5 fonctions et être lié par une logique booléenne. L'IC / 5 peut fournir 6 sorties analogiques assignables, vitesse de dépôt, épaisseur de film ou déviation de la vitesse de dépôt pour la commande de la source ou la sortie de l'enregistreur Graphique.

Prescription de processus robuste et gestion des données

Le Contrôleur de couche de membrane IC / 5 offre plusieurs fonctions et options pour aider les utilisateurs à gérer efficacement les prescriptions et les données du processus:

Stockage à bord riche – jusqu’à 50 processus et 250 couches de membrane. Permet un accès instantané aux données de processus et aux documents de prescription que vous utilisez. Cette entrée est particulièrement utile pour les processus complexes contenant de nombreuses couches de film, pour les systèmes de revêtement fonctionnant dans de nombreux processus, et pour des applications telles que le développement ou le développement de processus.

Option de pilote de disque – pour le stockage illimité des données de processus et des prescriptions. Option de logiciel d’édition hors ligne – utilisée sur un ordinateur (pas un panneau IC / 5), pour taper ou saisir des données. La programmation avec ce logiciel est plus pratique et efficace, en particulier pour les films multicouches et les processus multimatériaux. Enregistrement des données – les informations relatives au processus (épaisseur du film final, taux de dépôt moyen, nombre d’opérations, nombre de couches de film, etc.) sont automatiquement enregistrées dans le port de communication à distance, le port de l’imprimante ou le disque au format ASCII disponible. Avec l'option drive - by - disk, IC / 5 enregistre les données dans un format développé, ce qui facilite le stockage et le traitement des données. L'enregistrement des données facilite l'analyse post - opérationnelle avec une correction rapide. Le suivi du processus est * pour la production qui suit la certification ISO9000 ou QA.

Auto Z -Revêtement délicat pour matériaux multicouches

IC / 5 la technologie auto Z qui détermine automatiquement le rapport Z améliore la précision du contrôle de l'épaisseur du revêtement par rapport au taux de dépôt, l'utilisateur n'a plus besoin de calculer le rapport de résistance acoustique (z)³Lorsque plusieurs matériaux sont déposés sur un cristal, le rapport Z varie en fonction de la proportion du matériau sur le cristal et, par conséquent, la variation de la valeur de Z est dynamique. Auto Z correction continue du rapport Z en cours. Cette fonction est particulièrement importante lors du dépôt d'un matériau stratifié ou allié sur un seul cristal pour maintenir une épaisseur de couche de film et une vitesse de dépôt précises.

³Auto Z – numéro américain 5112642

AUTO TUNE –Pour une configuration rapide

La fonction auto tune d'IC / 5 élimine les étapes de tests répétés, économise du temps de configuration et détermine automatiquement et rapidement la constante de boucle fermée de contrôle de rétroaction de la source. Auto tune sélectionne le meilleur parmi plusieurs algorithmes de contrôle, y compris l'algorithme PID (proportionnel, intégral, différentiel) à trois paramètres, pour un contrôle en douceur d'une grande variété de sources.

Mesure de pièces Multi - sensorielles- le -Pour une répétabilité élevée

La répétabilité et l'uniformité sont particulièrement importantes pour certains revêtements optiques et d'autres applications. Le Contrôleur IC / 5 peut intégrer la mesure de jusqu'à 8 pièces de détection, ce qui réduit l'effet de distribution inégale de la source à un faible niveau et garantit une bonne * qualité de la vitesse de dépôt de la couche de film et de l'épaisseur du film final entre la dernière et la prochaine opération de revêtement. Lors de la rotation du substrat sur le porte - substrat planétaire, l'IC / 5 collecte simultanément des données à partir des positions des différents capteurs, en s'assurant que les informations obtenues sont représentatives de la distribution des sources actuelles. Par rapport au Contrôleur d'une seule pièce sensible, la mesure Multi - pièces sensibles améliore considérablement la répétabilité de l'épaisseur du film en raison du contrôle de la vitesse de dépôt total fixe de la couche de film, indépendamment des fluctuations dans la distribution de la source. Lorsque le mode de distribution de la source change, IC / 5 ajuste la puissance de manière appropriée. Bien que la vitesse de dépôt sur l'une quelconque des pièces sensibles puisse varier considérablement, la vitesse totale de dépôt reste inchangée. La quantité totale de matière déposée sur chaque substrat est contrôlée avec précision; La précision totale de l'épaisseur du film peut être augmentée de deux à trois fois par rapport au Contrôleur d'une seule pièce sensible. Grâce à une détection précise des variations de caractéristiques dues à la consommation de la source, la mesure Multi - pièces sensorielles vous aide à:

Quand il est prévu d'ajouter des sources

Déterminer les meilleures valeurs de réglage pour les paramètres tels que le balayage, la portée et les vibrations à haute fréquence du canon à électrons

Formuler une meilleure prescription du processus

Parce que toutes les pièces de détection sont reliées à un contrôleur IC / 5, ce qui nécessite peu d'espace pour l'armoire et sa vitesse de correction est trois à cinq fois plus rapide que les anciennes structures combinées Multi - contrôleur / ordinateur.

Co - dépôt précis

IC / 5 Contrôle le revêtement simultané des deux matériaux. Il contient un paramètre de rapport programmé qui contrôle le rapport de l'alliage dans une vitesse de dépôt variable, ainsi qu'un paramètre de sensibilité croisée (ou d'adaptation en chaîne) qui compense automatiquement le placage d'un matériau d'une source sur une pièce sensible utilisée pour contrôler l'autre source. La fonction auto Z contribue également au co - dépôt d'IC / 5, en conservant la précision de l'épaisseur du film lorsque différents matériaux sont mélangés sur un cristal.

Facile à charger dans les installations existantes

IC/5Instrument de contrôle d'épaisseur de membrane Des câbles adaptés sont disponibles et faciles à installer dans les installations existantes, en remplaçant les anciens contrôleurs de couche de membrane inficon ou d'autres usines de fabrication. Détails avec notre département.