Pompe à vide à pression constante

KT - pid1000z est un système de contrôle de pression constante sous vide, le système prend en charge divers modèles de pompes mécaniques à rotule à deux étages avec une vitesse d'extraction horaire de 4 Cu - 16 Cu, contrôle le taux d'extraction de la pompe à vide par vanne linéaire, ce qui permet d'obtenir une mesure précise de la pression à l'intérieur de la chambre et un contrôle constant de la pression, qui peut être combiné avec le four tubulaire de notre société, le plastificateur, la scelleuse et d'autres équipements pour réaliser un contrôle précis de la pression constante des processus tels que PVD, CVD et PECVD.

Largement utilisé dans la diffusion, l'oxydation, l'épitaxie, CVD、 La pulvérisation plasma et les procédés de revêtement, la fusion de fibres optiques, les systèmes de distribution de gaz mélangés et d'autres instruments d'analyse.

Paramètres techniques:

Méthode de contrôle: contrôle de l'algorithme PID

Plage de contrôle: 1000pa - 1pa (selon le taux d'extraction de la pompe à vide de la taille de la cavité)

PID réglage de la plage de vitesse d'extraction: 0 - 100%

Pompe à vide de soutien: 4 - 16 mètres cubes par heure taux d'extraction

Bride d'aspiration d'évent: kf16 kf25 kf40