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Shanghai Guier Machinery Equipment Co., Ltd
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Four tubulaire système CVD

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Four tubulaire sous vide série gr.tf détails le four tubulaire sous vide série gr.tf, avec une conception de performance raisonnable, intègre de nombreuses fonctions en un, la sécurité, la fiabilité et l'utilité ont atteint l'effet idéal

Détails du produit

GR.TFFour tubulaire sous vide série en détail


La série gr.tf de fours tubulaires sous vide, avec une conception de performance raisonnable, intègre de nombreuses fonctions en un seul, la sécurité, la fiabilité et l'utilité ont atteint l'effet idéal.

1, la température 1100 ℃ - 1800 ℃, la zone de chauffage est 300mm.

2, le corps du four adopte une structure de double coque de four, entre les coques de four à double couche est équipé d'un ventilateur, peut monter et descendre la température rapidement, la température de surface de la coque du four est faible.

3, le tube de four adopte un tube de quartz de haute pureté ou un tube de corindon, les deux extrémités sont scellées par une bride à vide SUS304.

4, le matériau de la cuisinière est fait d'adsorption sous vide de fibres polycristallines d'alumine importées de haute qualité, l'économie d'énergie est nettement améliorée par rapport au four électrique traditionnel à matériau dur, il a une forte résistance à la chaleur de trempe, le four électrique à 1100 ℃ est composé de deux parties supérieure et inférieure, dont la partie supérieure du four peut être retournée intégralement à 110 ℃, le four électrique à plus de 1100 ℃ est intégré, ce qui facilite l'accès au matériau expérimental de décharge, le remplacement du tube du four. L'élément chauffant adopte le fil de résistance suédois contel, la tige de carbone de silicium, la tige de molybdène de silicium.

5, le système de contrôle de la température du four électrique adopte la technologie de régulation de l'intelligence artificielle, la précision de contrôle de l'instrument est de ± 1 ℃, avec régulation PID, contrôle flou, capacité d'auto - ajustement et peut compiler divers programmes de réchauffement, avec fonction d'alarme à très haute température, avec fonction de coupure de courant endommagée par thermocouple, avec fonction de contrôle cryptographique paramétrique intégrée.

6, vitesse de montée en température ≤ 30 ℃ / MIN (vitesse de montée en température recommandée ≤ 10 ℃ / min), le programme de montée en température automatique de 30 segments peut être écrit, contrôle au silicium contrôlable, équipé d'un voltmètre LED à affichage numérique, d'un ampèremètre.

7, optionnel avec interface de communication RS - 485, logiciel de gestion de données, avec des données historiques d'enregistrement sans papier et la courbe de réchauffement, la fonction de correction de l'erreur de déviation de température, peut gérer plusieurs appareils et l'analyse de diagnostic à distance.

8. Plusieurs conceptions de protection de sécurité, bonne performance de sécurité et longue durée de vie.

9, le four électrique peut aspirer, passer l'atmosphère, le degré de vide peut atteindre 10pa (pompe mécanique), si le besoin d'un degré de vide plus élevé peut choisir la pompe moléculaire, atteindre 6.67x10-3pa.


Configuration standard:

1, 304 brides en acier inoxydable 1 ensemble

2, bague d'étanchéité 4 seulement

3, bouchon de four 2 seulement

4, four à cocher 1 poignée

5, instructions, carte de garantie, certificat de conformité 1 ensemble

6, tube de quartz ou 1 tube de corindon


Groupe de pompe à vide élevé (Groupe de pompe moléculaire)


L'unité de pompe moléculaire composite de la série GR - 620 / GR - 500F est un équipement d'obtention de vide ultra - élevé propre assemblé sur un rack par chaque pompe moléculaire composite de performance de la série f160 / 620 ou pompe moléculaire composite de la série FF - 160 / 500F, pompe d'extraction d'air de l'étage avant, vanne de décharge de séparation, ligne de l'étage avant, protecteur d'eau de rupture, alimentation de la pompe moléculaire, système de détection de vide élevé (vacuomètre composite), alimentation de contrôle, etc. Facile à installer, simple à utiliser, facile à connecter et fiable, il peut être largement utilisé dans divers domaines de l'analyse de surface, de la technologie d'accélérateur, de l'équipement à semi - conducteurs, de la technologie plasma, de la fabrication de dispositifs à vide électrique et de la technologie du vide.

Performance technique de l'unité de pompe moléculaire FJ - 620:

Modèle du produit

GR-620

Bride d'entrée d'air

DN160LF

DN160CF

Taux d'extraction L / S (air)

600

Taux de compression N2

H2

> 109

6 & fois; 103

Pression de démarrage recommandée

<100 Pa

Pression limite (PA)

6 & fois; 10-6

6 & fois; 10-7

Bride d'échappement

KF25/KF40

Utilisation de roulements

Roulements mécaniques de précision

Fréquence de la tension d'entrée (V / Hz)

220&plusmn; 20/50

Température ambiante (℃)

0 à 40

Modèle de pompe d'étage avant

RVP-6

Nombre nominal de tours de travail (RPM)

42300

Mode de refroidissement

refroidissement à l'eau

Pression d'eau de refroidissement (MPa)

0,1 - 0,2

Température de l'eau de refroidissement (℃)

< 25

Méthode d'installation

Arbitraire

Poids (kilogrammes)

52

Long & temps; Large & temps; haut

730 & fois; 520 & fois; 700

poids

117

Système d'alimentation en gaz

Le débitmètre massique et le réservoir de mélange d'air en acier inoxydable sont tous deux installés dans une armoire mobile qui peut porter 1000lbs, le réglage du débit et l'affichage de l'état de chaque circuit de gaz de canal sont concentrés sur l'écran tactile, tandis que la courbe de débit de gaz et les données peuvent être visualisées en temps réel.

&middot; Gamme standard: 100sccm, 200sccm, 200sccm, 500sccm (peut personnaliser la gamme et la quantité)

&middot; Contrôleur de Débit massique:

(1) tension de fonctionnement: AC 220V / 50hz

(2) température de fonctionnement: 5 - 45℃

(3) pression de travail: 3 & Times; 106 Pa

(4) puissance de sortie: 23w

(5) précision: & plusmn; 1.5%FS

(6) linéaire: & lt; & lt; plusmn & gt; & gt;. (0.5-1.5)%F.S

(7) Précision de répétition: & lt; & lt; plusmn & gt; & gt;. 0.2%F.S

(8) temps de réponse: caractéristique de gaz: 1 - 4 sec, caractéristique électrique: 10 sec

(9) plage de pression différentielle de fonctionnement: 0,1 - 0,5 MPA

&middot; Écran tactile PLC:

Réglage et visualisation de la voie d'air de chaque canal sont concentrés sur l'écran tactile, peut choisir l'interface de communication RS485 et le logiciel de contrôle de la température du PC peut être connecté à l'ordinateur pour le contrôle à distance

&middot; Manomètre mécanique: plage de mesure: -0.1-0.15mpa

&middot; Robinet à aiguille: acier inoxydable 316

&middot; Raccords de tuyauterie: tuyau de raccordement interne 1 / 4 "PTFE, tuyau d'aération externe 1 / 4" PTFE

&middot; Réservoir de mélange de gaz: & quot; Phi & quot; 80&times; 120mm

&middot; Vanne d'arrêt: 316 robinet à pointeau en acier inoxydable & Phi; 1 / 4 »

&middot; Spécifications du produit: 600 & Times; 745&times; 700mm

GR.TFSérie de fours tubulaires sous vide modèles et spécifications

modèle

Dimensions du tube du four (mm)

(LxLxH)

puissance

(KW)

température

(℃)

Limite de température

(℃)

Éléments chauffants

tension

(V)

GR.TF60/11

Φ60×1000

4

1100

1000

Fil de résistance contell

220

GR.TF80/11

Φ80×1000

4

1100

1000

Fil de résistance contell

220

GR.TF100/11

Φ100×1000

4

1100

1000

Fil de résistance contell

220

GR.TF150/11

Φ150×1000

5

1100

1000

Fil de résistance contell

220

GR.TF200/11

Φ200×1000

6

1100

1000

Fil de résistance contell

220

GR.TF60/14

Φ60×1000

6

1400

1300

Silicone barre de carbone

220

GR.TF80/14

Φ80×1000

6

1400

1300

Silicone barre de carbone

220

GR.TF100/14

Φ100×1000

7

1400

1300

Silicone barre de carbone

220

GR.TF60/16

Φ60×1000

7

1600

1500

Silicone molybdène tige

220

GR.TF80/16

Φ80×1000

7

1600

1500

Silicone molybdène tige

220

GR.TF100/16

Φ100×1000

7

1600

1500

Silicone molybdène tige

220

GR.TF60/18

Φ60×1000

7

1800

1700

Silicone molybdène tige

220

GR.TF80/18

Φ80×1000

9

1800

1700

Silicone molybdène tige

380

GR.TF100/18

Φ100×1000

9

1800

1700

Silicone molybdène tige

380