Interféromètre à miroir plat rld10 Renishaw, Royaume - Uni

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Royaume - Uni Renishaw rld10 interféromètre à miroir plan $R $nrld10 interféromètre à miroir plan $R $N interféromètre à miroir plan convient aux applications de plate - forme XY.

Détails du produit

Interféromètre à miroir plat rld10

L'interféromètre à miroir plat convient aux applications de plate - forme XY.

À l'intérieur de la tête d'émission rld10 se trouve un système de détection de rayures multicanaux avec un ensemble de miroirs interférométriques *, un SAS laser et un miroir auxiliaire de Collimation Laser intégré. Deux modèles de têtes de lancement rld10 sont disponibles à 0° et 90°.

Caractéristiques et avantages

Solution à deux axes- le système de miroir plan à deux axes est la solution idéale pour les applications de la plate - forme XY.
Haute résolution- les systèmes de miroirs plats peuvent également être utilisés pour des applications nécessitant une résolution plus élevée que les systèmes de miroirs coniques.
Environnement sensible- des modèles à faible puissance de têtes d'émission interféromètres à miroir plat sont également disponibles. Convient aux applications dont la consommation d'énergie est inférieure à la norme RLD (c. - à - D. < 2 w).

RLD发射头和镜组

Spécifications

Voyage de l'axe	0 M à 1 m
Résolution (configuration avec rlu)	Quadrature analogique = λ / 4 (158 nm) Orthogonale numérique = 10 nm Résolution rpi20 = 38,6 PM
Erreur de non - linéarité du système * (SDE) * sans interface	< ± 2,5 nm à moins de 50 mm / sec et intensité du signal > 70% < ± 7,5 nm à 1 M / sec et intensité du signal > 50%
vitesse	Jusqu'à 1 M / sec

Pour les applications non sous vide, une certaine forme de compensation de l'indice de réfraction est nécessaire pour maintenir la précision dans des conditions environnementales changeantes. Renishaw propose le système de compensation en temps réel rcu10 pour compenser les changements environnementaux.

Si vous optez pour l'interface parallèle rpi20 et que vous l'Intégrez au système rle, vous pouvez atteindre une résolution de 38,6 picomètres. L'interface peut recevoir un signal analogique différentiel sinus / cosinus de 1 vpp et offre un format de sortie parallèle. Pour plus de détails sur les accessoires, voir système de compensation rcu10 et interface de règle laser.

Interféromètre à miroir plat rld10 Renishaw, Royaume - Uni

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