Interféromètre différentiel rld10 Renishaw, Royaume - Uni

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Vue d'ensemble

Royaume - Uni Renishaw rld10 interféromètre différentiel $R $nrld10 interféromètre différentiel $R $n l'interféromètre différentiel permet de mesurer les variations de position par rapport à un objet de référence défini.

Détails du produit

Interféromètre différentiel rld10

L'interféromètre différentiel permet de mesurer les variations de position par rapport à un objet de référence défini.

La tête d'émission différentielle a une conception optique * pour des performances SDE extrêmement faibles. Le miroir d'aide à la Collimation Laser intégré permet un réglage de l'angle de tangage et de torsion pendant le réglage, ce qui améliore le processus de collimation (convient uniquement aux applications de miroirs plats).

La tête émettrice rld10 - x3 - di peut être montée sur le mur extérieur de la cavité de travail par un simple support de fixation à trois broches. Le chemin optique peut être corrigé sans entrer dans la cavité de travail, le miroir d'aide à la Collimation Laser intégré permet un réglage indépendant du tangage et du pendule de torsion des faisceaux de référence et de mesure, la conception du système de montage permet le démontage de la tête de tir et le réglage de la position de la tête de tir avec un impact minimal sur la collimation du système.

Caractéristiques et avantages

Excellentes propriétés de mesure- précision de fréquence stable ppb, erreur périodique ultra - faible, résolution de sortie jusqu'à 38,6 pm.
Configuration différentielle- mesure du déplacement de la plate - forme de mouvement par rapport aux montants de montage, éliminant ainsi les erreurs de mode courantes, telles que les mouvements des parois latérales de la zone de travail liés aux fluctuations environnementales.
Réglage rapide de la collimation- avec quatre miroirs auxiliaires de Collimation Laser intégrés, il est facile d'effectuer un réglage de collimation à l'extérieur de la chambre à vide, éliminant ainsi les tolérances d'installation de la chambre à vide et du Groupe de miroirs.

Spécifications

Voyage d'axe	0 m à 1 m
Résolution (configuration avec rlu)	Quadrature analogique = λ / 4 (158 nm) Orthogonale numérique = 10 nm Résolution rpi20 = 38,6 PM
Erreur de non - linéarité du système * (SDE) * sans interface	< ± 1 nm à moins de 50 mm / sec et intensité du signal > 70% < ± 6 nm à 1 M / sec et intensité du signal > 50%
vitesse	Jusqu'à 1 M / s

Le Renishaw rlu20 est généralement utilisé pour configurer la tête d'émission de l'interféromètre différentiel. La grande stabilité de la source laser rlu20 combinée à la haute performance de la tête d'émission de l'interféromètre différentiel sera certainement idéale pour les applications dans les chambres à vide et d'autres environnements de climatisation à contrôle strict.

Interféromètre différentiel rld10 Renishaw, Royaume - Uni

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