Leica em ace600 appareil de revêtement sous vide élevé

Le Leica em ace600 est un appareil de revêtement sous vide élevé, la pompe à vide utilise une pompe à membrane et une pompe turbomoléculaire, un système de vide sans huile et un degré de vide allant jusqu'à 2 × 10 - 6 mBar. Le revêtement est délicat et uniforme. Détecteur d'épaisseur de film de quartz intégré pour un contrôle précis de l'épaisseur du revêtement. Contrôle informatique entièrement automatique, complétez automatiquement l'ensemble du processus d'aspiration, de revêtement, de dégonflage, etc., en un seul clic. Avec le contrôle d'écran tactile, il est simple et pratique. Instrument optionnel film métallique plaqué par pulvérisation ionique pour répondre aux besoins des miroirs électriques à balayage à émission de champ de discrimination élevé (Fe - SEM). En option, un film de carbone par évaporation de fil de carbone pour la spectroscopie X - ray et l'analyse par spectroscopie d'onde, ou un film de carbone de maille de cuivre TEM. Il est également possible de choisir la méthode d'évaporation du faisceau d'électrons pour le revêtement, obtenir un film métallique extrêmement délicat avec un film de carbone qui peut être utilisé pour des utilisations spéciales telles que la projection d'ADN.

Caractéristiques

　　•Mode de pulvérisation ionique optionnel, mode de dépôt de carbone par évaporation de filament de carbone, mode d'évaporation de tige de carbone (résistance thermique), mode d'évaporation de faisceau d'électrons, mode de double pulvérisation, mode de pulvérisation - filament de carbone, mode de pulvérisation - tige de carbone, mode de pulvérisation - faisceau d'électrons, mode de double faisceau d'électrons, compatible avec le système de transmission par congélation em vct500, décharge luminescente optionnelle (pour l'hydrophilie de la surface de la grille)

　　•Méthode d'évaporation de fil de carbone pulsé de conception brevetée pour un contrôle précis de l'épaisseur du film de carbone

　　•Détecteur d'épaisseur de film de quartz intégré, contrôle précis de l'épaisseur du revêtement, précision jusqu'à 0,1 nm

　　•Contrôle de programme entièrement automatique, processus d'extraction automatique, de revêtement, de dégonflage et autres

　　•Contrôle à écran tactile, simple et pratique

　　•Avec pompe à membrane + pompe turbomoléculaire, système de vide sans huile, degré de vide ≤ 2 × 10 - 6 mBar

　　•Courant de pulvérisation: 0 - 150ma réglable

　　•Conception de bac d'échantillon carré, taille de bac d'échantillon: 200mm (largeur) × 150mM (profondeur) × 195mm (hauteur)

　　•Table d'échantillon avec rotation intégrée, plage de réglage de la distance de travail: 30mm - 100mm