Haute puissance DC magnétron Splash Coater Product content:
L'appareil de revêtement par Pulvérisation magnétron haute puissance contient une tête de cible refroidie à l'eau de 2 pouces et une table d'échantillon rotative. La tête de cible refroidie à l'eau permet à la surface de l'échantillon après le revêtement de ne pas se déformer ou même d'endommager l'échantillon en raison d'une température de revêtement trop élevée; La table d'échantillon peut être pivotée, ce qui peut rendre le revêtement de bord rotatif du côté de l'échantillon uniforme après le revêtement du film de surface de l'échantillon. L'équipement a une forme compacte et un bon rapport qualité - prix, c'est l'équipement de revêtement idéal pour faire toutes sortes de films métalliques, peut être sélectionné avec toutes sortes de cibles métalliques et de pompes à vide et utilisé avec l'équipement.
Spécifications techniques de l'appareil de revêtement de pulvérisation à commande magnétique DC haute puissance:
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Tension d'entrée
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220 C 50/60Hz ,Utilisation1000 WTransformateur (15 AFusibles) sont disponibles110 VPuissance
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Puissance de sortie
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1600 VDC
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250 W
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150 mA max.
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Protection contre les surintensités intégrée(>150 mA)
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Chambre d'échantillon
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Tube en verre de quartz, 165 mmDiamètre extérieur× 150 mmDiamètre intérieur× 250 mmHauteur
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Tête de pulvérisation et banc d'échantillons
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Inclus2 'Tête de Pulvérisation magnétron flexible avec manchon refroidi à l'eau.
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Un diamètre50 mmLa table d'échantillon en acier inoxydable est disponible en0-5 RPMRotation dans la gamme.
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Une visière actionnée manuellement sert à protéger la cible.
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Le support de tête de pulvérisation peut être utilisé pour maintenir la tête de pulvérisation lorsqu'elle n'est pas en fonctionnement.
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La distance entre la tête de pulvérisation et la table d'échantillon peut être60-100mmRégulation entre.
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MaxZone de revêtement: 4 'Diamètremax.
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Une Refroidisseur d'eau à circulation refroidie par air10 L / minDébit, y compris la tête de pulvérisation refroidie.
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Panneau de contrôle
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6 "Panneau de commande à écran tactile couleur,PLCIntégré, facile à utiliser
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Un panneau pour la surveillance et le contrôle de tous les paramètres: vide, courant.
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Pression de vide limite
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IntégréKF25Port de vide
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Le système nécessite un régulateur de pressionArRéservoir de gaz. (non inclus)
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PourAu、Ag、Pt、Cu、MoCibleVanePompe à vide (non incluse)<1.0E-2 Torr(insensible à l'air)
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Pompe turbomoléculaire (non incluse)<1.0E-5 TorrPourAl、Mg、Li、Lr、Ti、ZnCible (sensible à l'air)
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Par aspiration et cuisson successives,zuiLe vide bas peut atteindre<4.0E-6To
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Atmosphère
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Installer une vanne à aiguille qui permetArEntrée de gaz pour un meilleur revêtement plasma
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Le système nécessite un régulateur de pressionArRéservoir de gaz (non inclus)
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Cible
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Comprend une2Cible en cuivre en pouces pour le test, taille cible:2Diamètre en pouces× 2,5 mm- Oui.
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Il peut également être enduitAg,Al,Cr,Ni,Pt,Ti,Sn,Li,MgPresque tous les types de matériaux métalliques.
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Avertissement: Cette machine peut être enduite de cibles en aluminium, chrome ou nickel , mais s'il vous plaît vérifier la méthode de revêtement recommandée avant de l'utiliser.
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Veuillez utiliserRFAlumine enduite par Pulvérisation magnétron plasma
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Dimensions globales
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L 440 mm × W 330 mm × H 290 mm
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Poids net
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20 kg
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Service après - vente
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Après l'expédition des marchandises,CYKYFournir un service après - vente gratuit d'un an, le mode de service est limité à l'assistance technique à distance comme le guidage téléphonique, le guidage vidéo, le guidage par courrier, l'envoi d'accessoires, etc. Si une personne est requise pour le service sur place, le client est tenu de payer les frais de voyage du personnel de service et le salaire pendant le voyage d'affaires.
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