Chromatographe à ions hélium pour l'analyse du DICHLOROSILANE

L'instrument est équipé d'un détecteur à ionisation d'hélium hautement sensible, utilisant la technologie de découpe centrale de Huai, les vannes d'échantillonnage sont toutes équipées d'un circuit de gaz de protection de purge; La machine entière adopte la conception de boîte Multi - colonne et est équipée du système de correction automatique de la pression d'admission

Dichlorosilane hélium chromatographe ioniqueL'instrument est équipé d'un détecteur à ionisation d'hélium hautement sensible, utilisant la technologie de découpe centrale de Huai, les vannes d'échantillonnage sont toutes équipées d'un circuit de gaz de protection de purge; La machine entière adopte la conception de boîte Multi - colonne et est équipée d'un système de correction automatique de la pression d'admission, garantissant la quantité d'admission de l'échantillon pour différents gaz de fond. Les produits ont successivement remporté les titres de projet de classe a de la ville de Shanghai pour la transformation des résultats de haute technologie, de nouveaux produits clés de la ville de Shanghai, de programme de torche de la ville de Shanghai et de produits d'instruments scientifiques 2009.

Nom du projet			Indicateurs
Trichlorosilium (sihcl3) contenu (Fraction volumique) / L0-6 ≤			10
(monochlorosilane + chlorure d'hydrogène) contenu (SIH3CL + HCl) Teneur en chlorure d'hydrogène (Fraction volumique) / L0-6 ≤			50
Azote (n2) contenu (Fraction volumique) / L0-6 ≤			1
(oxygène + argon) (o2+ AR) contenu (Fraction volumique) / L0-6 ≤			1
Teneur en monoxyde de carbone (CO) (Fraction volumique) / L0-6 ≤			1
Hydrogène (h2) contenu (Fraction volumique) / L0-6 ≤			10
Dioxyde de carbone (co2) contenu (Fraction volumique) / L0-6 ≤			1
Teneur totale en hydrocarbures (THC), exprimée en méthane (ch)4) compteur (Fraction volumique) / L0-6 ≤			1
Teneur en éléments métalliques et autres éléments	(bore + aluminium) (b + AL) contenu / (µg / kg) ≤		0.1
	(phosphore + arsenic) (P + as) contenu / (µg / kg) ≤		0.3
	Teneur en gallium (GA) / (µg / kg) ≤		0.1
	Teneur en antimoine (Sb) / (µg / kg) ≤		0.1
	Teneur en indium (in) / (µg / kg) ≤		0.1
	Teneur en calcium (CA) / (µg / kg) ≤		1
	Teneur en chrome (CR) / (µg / kg) ≤		1
	Teneur en fer (Fe) / (µg / kg) ≤		5
	Teneur en potassium (k) / (µg / kg) ≤		1
	Teneur en sodium (Na) / (µg / kg) ≤		0.2
	Teneur en nickel (ni) / (µg / kg) ≤		1
	Teneur en molybdène (Mo) / (µg / kg) ≤		0.1
	Teneur en manganèse (mn) / (µg / kg) ≤		0.2
	Teneur en cuivre (Cu) / (µg / kg) ≤		0.2
	Teneur en cadmium (CD) / (µg / kg) ≤		0.5
	Teneur en cobalt (CO) / (µg / kg) ≤		0.5
	Teneur en zinc (Zn) / (µg / kg) ≤		0.1