Compact DC magnétron pulvérisateur de revêtement domaines d'application:
La conception compacte de l'appareil de revêtement par Pulvérisation magnétron DC est principalement de faire un film métallique, la zone de fabrication du film peut atteindre 4 pouces. L'équipement a une forme compacte et un bon rapport qualité - prix, c'est l'équipement de revêtement idéal pour faire toutes sortes de films métalliques, peut être sélectionné avec toutes sortes de cibles métalliques et de pompes à vide et utilisé avec l'équipement.
Spécifications techniques de l'appareil de revêtement par pulvérisation magnétique compact DC:
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Caractéristiques
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1. Spécialement conçu pour l'échantillon SEM enduit de film d'or conducteur.
2. La machine de revêtement par pulvérisation plasma compacte est spécialement conçue pour le revêtement métallique, comme l'or, le platine et l'argent.
3.include une cible de 2 "d'or (4n).
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Tension d'entrée
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220 VAC 50/60Hz, 200W
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< 1000 W (y compris la puissance de la pompe à vide)
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Une alimentation de 110VAC est disponible avec un transformateur de 1000 W (fusible de 15 a).
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Tension de sortie
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500 VDC
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Courant de pulvérisation
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Courant de pulvérisation réglable de 0 à 50 mA (max)
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Ampèremètre numérique (ma)
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Protection contre les surintensités
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Temps de pulvérisation
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Réglable de 1 à 120 secondes
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Chambre d'échantillon
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Tube en verre de quartz, 165
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Mm diamètre extérieur × 150 mm diamètre intérieur × 150 mm hauteur
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Table d'échantillons
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2 'de diamètre, réglable en hauteur, 30 - 80 mm de l'échantillon à la cible
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Tête de pulvérisation
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2 'tête de Pulvérisation magnétron. Une visière actionnée manuellement pour protéger la cible
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Pression du vide
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Manomètre à vide numérique (PA)
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Kf25 connecteur de pompe à vide
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La pression de vide limite de la pompe mécanique est 1 et la pompe n'est pas incluse.
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Installez un raccord de tuyau de type 1 / 4 swagelok pour connecter des bouteilles de gaz inertes.
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Il y a une valve de dosage sur le panneau avant pour réguler le gaz d'entrée.
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Les cibles
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Comprend une cible en or de 50 mm x 0,12 mm de diamètre
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Feuille d'or de pureté 4n:
50 mm (2 Po) de diamètre X
0,12 mm (inclus et pré - installé sur le plastificateur)
Cibles optionnelles
Cible en or (50 mm de diamètre x 0,12)
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Mm, pureté 4n)
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Cible en platine (50 mm de diamètre x 0,12 mm, pureté 4n)
Cible en argent (50 mm de diamètre x 0,5 mm, pureté 4n)
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Ce modèle convient pour le revêtement or, argent, platine. Et en raison de la faible énergie, ne convient pas pour le revêtement de matériaux métalliques légers tels que Al, Mg, Zn ou des cibles de carbone. S'il vous plaît envisager notre haute puissance DC / RF magnétron pulvérisation machine de revêtement ou machine de revêtement par évaporation thermique.
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Dimensions et poids du produit
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L 460Mm × W 330 mm × H 520 mm