• Qu'est - ce qu'un semi - conducteur

Semi - conducteur (SEMICONDUCTOR) désigne un matériau dont les propriétés de conductivité à température normale se situent entre le conducteur et l'isolant.

Les semi - conducteurs selon la technologie de fabrication peuvent être divisés en: dispositifs de circuits intégrés, dispositifs discrets, semi - conducteurs optoélectroniques, circuits intégrés logiques, circuits intégrés analogiques, réservoirs et autres grandes catégories.

• Qu'est - ce qu'une puce

MICROCIRCUIT, Microchip, circuit intégré (IC). Il s'agit d'une tranche de silicium contenant un circuit intégré, de petite taille, qui fait souvent partie d'un ordinateur ou d'un autre appareil électronique.

• Processus de fabrication

Note: CMP, c'est - à - dire polissage mécano - chimique*Image tirée du Web

• Lithographie et gravure

La lithographie est le processus de transfert d'une figure sur une colle photolithographique recouvrant la surface d'une feuille de silicium semi - conducteur. Ces figures doivent ensuite être transférées sur les différentes couches minces qui composent le dispositif sous la colle photolithographique, un processus que nous appelons gravure, c'est - à - dire gravure sélective des Parties non masquées de cette couche mince.

• Méthodes de gravure

Il existe deux méthodes de base pour la gravure: la gravure chimique humide et la gravure sèche.

Le mécanisme de la gravure chimique par voie humide comprend principalement trois étapes: les réactifs sont soumis à une diffusion à la surface des réactifs, la réaction chimique est effectuée sur la surface, puis les générateurs de réaction sont retirés de la surface par diffusion. La gravure chimique humide est plus appropriée pour la gravure de surface au sol de polysilicium, d'oxydes, de nitrures, de métaux et de composés du Groupe Ⅲ - v.

La technologie de spectroscopie proche infrarouge a un large éventail d'applications dans l'industrie des semi - conducteurs en raison de ses avantages ci - dessous *.

• Méthodes non intrusives
• Une petite pollution à prévenir
• Haute précision, bonne reproductibilité
• Pas besoin de diluer l'échantillon
• Peut être analysé quantitativement
• Capable de faire des analyses chimiques et des indicateurs physiques
• Un spectromètre proche infrarouge en ligne contenant une sonde à fibre optique spécialement conçue peut être intégré à l'ensemble du système

► cas d'application I: détermination du liquide de gravure acide mixte à l'aide d'un spectromètre proche infrarouge

Le diagramme de mesure de la boîte de couleur de 1 mm et de 4 mm de trajet est le suivant, en observant le spectre, vous pouvez constater que le bruit Spectral de la boîte de couleur de 4 mm de trajet à partir de 1900 nm commence à augmenter, nous avons donc choisi une boîte de couleur de 1 mm de trajet pour la détermination.

En modélisant par le logiciel vision et en déterminant la teneur en composants du liquide de gravure acide mixte par rapport aux valeurs analysées par les méthodes conventionnelles du laboratoire comme indiqué dans le tableau ci - dessous, on peut voir que les résultats prédits dans le proche infrarouge sont en grande partie conformes aux méthodes de laboratoire avec peu d'erreurs.

► cas d'application II: détermination du liquide de nettoyage à l'aide d'un spectromètre proche infrarouge en ligne

La figure ci - dessous montre la surveillance continue de l'état du liquide de nettoyage SC1 d'un client à l'aide d'un spectromètre infrarouge proche en ligne Swiss Bandung. Nous pouvons voir qu'avec la consommation de liquide de nettoyage, NH₄La teneur en Oh diminue progressivement et le client peut opérer le processus de nettoyage en fonction de la situation surveillée.

► cas d'application III: surveillance dynamique de l'alcool isopropylique IPA à l'aide d'un spectromètre proche infrarouge en ligne

L'alcool isopropylique IPA agit comme agent de nettoyage et des impuretés sont mélangées dans ce solvant pendant le nettoyage. Son spectre proche infrarouge est comme ci - dessous, dans la gamme de longueurs d'onde 1900 ~ 2000nm, l'influence de l'impureté ekc - 265 sur le spectrogramme est clairement visible.

Nous utilisons cette bande pour construire un modèle proche infrarouge de l'ekc - 265, qui peut voir le r du modèle²Jusqu'à 99999, sec est 00629. Avec ce modèle, nous pouvons surveiller les changements dans la teneur en impuretés de l'isopropanol.

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• Technologie spectroscopique sans perte
• Gamme de longueur d'onde 800 - 2200nm pour une large gamme d'applications
• Analyse qualitative, analyse quantitative Multi - composants et analyse des tendances en temps réel
• Les instruments sont conformes au niveau de protection nema4x
• Pas besoin de réactifs chimiques, protection de l'environnement verte et économie de coûts
• Piscine de circulation de matériaux en téflon