LAUDA-Noah POU

Contrôleur thermostatique de processus pour thermoélectricité, spécialement conçu pour l'industrie des semi - conducteurs, plage de température allant de- 20à90 °C

Basé sur le principe éprouvé de conduction thermique de pallgar, le système de contrôle de température de Lauda Noah pou Thermoelectric est capable de fournir un contrôle de température reproductible pour les applications de gravure plasma. Pour le contrôle dynamique de la température du mandrin électrostatique (ESC), le pou peut être appliqué à tous les types de procédés de gravure.

Efficace et économe en énergie, économisant de l'espace, tout en étant capable de contrôler la température de manière stable, ce système intelligent est capable d'améliorer parfaitement l'uniformité du Wafer au Wafer.